微纳代工

【资源丰富:高校/院所/自建试验线】 【多尺寸兼容:4寸/6寸/8寸晶圆/其他尺寸】 【工艺能力保证:经验丰富工程师/工艺团队】

【前段工艺】

光刻

? 衬底:硅、玻璃、介质层等
? 光刻胶:正胶、负胶、干膜
? 最小图形尺寸:1um(接触式光刻) / 0.5um(步进式光刻)
? 套刻精度:0.5um(接触式光刻) / 0.2um(步进式光刻)

刻蚀

? 衬底:硅、玻璃、氧化硅、金属等
? 刻蚀材料:Si、SiO2、SiNx、GaN、GaAs、InP等
? 刻蚀工艺:IBE、RIE、DRIE、ICP等
? 湿法刻蚀:HF、BOE、HCL、KOH、TMAH等

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薄膜沉积

? PECVD、LPCVD、ALD、磁控溅射等
? 非金属:Si、SiO2、SiNx、Al2O3、ITO等
? 金属:Al、Cu、Cr、Ag、Au、Ti等
? 定制化图案,最小线宽/线距1um

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掺杂&注入

掺杂元素:B、P、F、Ar、Al等
? 离子能量:>200keV
? 注入剂量:1011~1016at/cm2
? 注入角度:< 7°
? 高温氧化、高温退火

【后段工艺】

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抛光&减薄

? 衬底:硅、玻璃等
? 粗糙度:< 1nm
? TTV:< ±5%

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清洗

? 超声/化学/等离子清洗
? 酸洗、碱性、有机清洗
? 去污、去颗粒、去胶

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切割&打孔

? 异形切割、通孔、盲孔
? 砂轮切割、激光切割
? 精度< ±0.05mm

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表面处理

? 衬底:硅、玻璃、金属、PDMS等
? 等离子体表面活化,增强黏附
? 亲水/疏水修饰、涂层、图案化

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键合

? 硅、玻璃、PDMS、PMMA等及其组合
? 4寸至8寸多尺寸兼容
? 胶键合、阳极键合、热键合等
3、完成领导交办的其他相关任务。

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掩膜&模具

? 光刻掩膜:石英玻璃、苏打玻璃、菲林等
? PDMS、PMMA压铸模具、注塑模具
? 金属模具、键合模具、装配夹具/治具

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