微纳器件设计

【全流程服务:设计/制造/生产一站式】 【多规模覆盖:前期研发/小批试产/中批量产】 【研发能力优势:研发团队深耕微流体领域】

芯片设计

器件仿真

? 半导体器件工艺仿真,刻蚀、填充、注入等
? Silvaco 、Sentaurus多维仿真
? 微流体仿真,电、磁、热、声场、光等多场耦合
? 流体、固体、机电多维耦合分析
? Comsol、Fluent、CFX,静态、动态、瞬态、频域仿真

基底设计

? 图案化金属电极、光电薄膜、半导体器件
? 大规模TFT阵列/CMOS阵列
? 微流道、毛细管道、微孔阵列、微腔室
? 封装键合、布线、接口、注液等

芯片测试

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微观结构

? SIMS、SEM、FIB、EDX、AFM
? 微观结构分析、断面结构分析表面元素分析、表面粗糙度分析

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器件特性

? SPR、PPMS、霍尔测试
? 载流子浓度测试、结深测试、输出特性测试、转移特性测试

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膜层特性

? 薄膜应力仪、膜厚测量仪、台阶仪、白光干涉仪、椭偏仪
? 薄膜应力、翘曲测量、二维成像、膜厚测量、折射率测量

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芯片特性

? 光学测试平台、电学测试平台、磁控测试平台、液路测试平台等
? 电、磁、光、热、机械等测试平台搭建与流体耦合测试

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